标的名称：低相干干涉内部三维形貌扫描系统 
数量/单位：1套 
预算金额（元）：******.00 

采购目录：A******其他光学仪器 

需实现的主要功能或者目标：基于低相干干涉测量原理，可对精密微小结构内部三维形貌进行扫描并快速形成高密度点云数据及对其直径、圆度、圆柱度、平行度、直线度、粗糙度等参数进行测量，并可对被测件表面损伤（如划痕、磨损等）进行表征。 

需满足的质量、服务、安全、时限等要求： 系统点云生成速率（最大值）：100kHz±5%；测量重复性：≤3μm；低相干干涉光学探针：含两个低相干干涉光学探针及用于探针切换的光学转换开关，可与光学系统及运动平台配合完成形貌测量。探针1外径＜5mm、长度≥300mm；探针2外径＜1.2mm、长度≥20mm；两个探针均为侧面出光，含刚性外壳便于夹持；含手持式操作杆，可便捷控制多个运动轴的运动，可调节各运动轴的运动速度，并含急停功能。；包含设备各个轴的安装调试，并对设备进行培训。； /； 设备合同签订后7个月到货。。