基本信息：

申购单号：CB10001SZ******28

签约时间：发布竞价结果后7天内签约合同

申购主题：挥发性材料真空沉积腔体

送货时间：合同签订后150天内送达

******大学深圳研究生院

安装要求：免费上门安装（含材料费）

报价要求：国产含税

收货地址：广东省/深圳市/南山区/****

发票类型：增值税专用发票

币种：人民币

预算：******

付款方式：付70%发货，验收合格付30%尾款。

备注说明：

申购明细：

采购内容：挥发性材料真空沉积腔体

数量：1.0台

预算单价：

品牌：安徽外延科技

型号：ET-NanoPLD-2000

规格参数：1、脉冲沉积腔室
1.1腔室主体采用316L不锈钢材质，直径≤400mm，采用球形设计，内部做电抛光处理，腔室法兰均为金属密封，配有真空泵接口，真空规接口，激光入射石英窗接口，红外测温接口。
1.2沉积腔室配有观察视窗接口，配置差抽快开门，配有主动抽气系统，更好密封性兼容超高真空。
2、沉积腔室真空系统
2.1沉积系统烘烤后极限真空≤6×10-9mbar。
2.2分子泵：选用复合轴承结构，抽速不小于 685L/s（N2）。
2.3涡旋干泵：抽速≥4L/s，极限真空≥0.04mBar，峰值抽速≥11.4m3/h。
2.4全量程真空计 1 套，测量范围从大气压至≤10-7Pa；薄膜真空计1套，测量范围不小于1Torr。
2.4配有有旁抽装置可在不停分子泵的条件下进行粗抽操作，实现快速换样和真空获取。
3、高温样品台
3.1兼容真空互联FLAGTYPE样品托以及方型SIC样品托，样品最大尺寸10mm * 10mm。
3.2 红外激光加热，最高温度≥1000℃，PID控温样品升温速率0～50℃可调，控制精度≤±0.5℃，激光加热光斑大小可调节。配有红外测温仪，测量范围240-1400℃。
3.3配置四轴样品台，移动范围：X：±12.5mm，Y：±12.5mm，Z：30mm，样品台旋转速度自转0-30RMP连续可调。
4、靶台系统
4.1配置不少于 5个 1英寸向下兼容靶位，靶基距可调。
4.2四轴靶台，5靶位扫描靶台，移动范围X：±12.5mm，Y：±12.5mm，Z：100mm，公转：360°，靶之间配置两级防交叉污染挡板。
5、控制和辅助系统
5.1激光光路：铝型材光路支架及亚克力玻璃保护罩，激光水平入射靶材，方便多台PLD腔体的光路复用。
5.2激光光路配有1块高损伤阈值248nm光学透镜，焦距f=500mm，1块2英寸激光反射镜和配套反射镜支架、透镜支架及透镜滑轨。
5.3工艺气路，二路气体N2, O2 并配有隔膜阀。
5.4工艺气压控制；样品台加热软件控制模块；靶台扫描和公转控制模块，具有待机状态自动停止扫描功能；样品和靶材位置软件控制，配有位置保存和载入模块，高效传样和传送靶台，提高生长效率和重复性；脉冲激光脉冲控制，提供计数模式和连续模式；生长编程模式，一键多层模和超晶格生长自动控制。

质保及售后服务：(1)服务时间响应: 免费保质期1年，从验收合格之日起计算。免费保质期内，供应商需对由于设备的缺陷而发生的任何不足或者故障负责，并承担所涉及的费用。供应商应派专人负责与采购人联系售后服务事宜，在接到采购人通知的8小时内排除故障，若在三个工作日内不能修复的，需采取相应措施，比如更换设备、更换部件等，以保证采购人的正常工作。
(2)免费保质期后服务: 免费保质期过后，供应商需提供终身免工时费保养维修服务。供应商应每年定期或不定期上门查看设备运行状况，不定时电话跟进设备运行状况。若在接到采购人通知对设备进行维修保养时，供应商需专程派遣技术人员到现场进行服务，视实际情况收取维修费用（除工时费）。

附件：