基本信息：

申购单号：CB10001SZ******23

签约时间：发布竞价结果后7天内签约合同

申购主题：脉冲激光沉积真空腔体

送货时间：合同签订后150天内送达

******大学深圳研究生院

安装要求：免费上门安装（含材料费）

报价要求：国产含税

收货地址：广东省/深圳市/南山区/****

发票类型：增值税专用发票

币种：人民币

预算：******

付款方式：付70%发货，验收合格付30%尾款。

备注说明：

申购明细：

采购内容：脉冲激光沉积真空腔体

数量：1.0台

预算单价：

品牌：安徽外延科技

型号：ET-PLD-1000

规格参数：技术规格：
★1.1超高真空主腔：球形，316L不锈钢材质，直径≤400mm，内部电抛光处理，本底真空≤5×10-6mbar，烘烤后≤6×10-8mbar；差抽快开门，配有主动抽气系统，更好密封性兼容超高真空。
▲1.2真空获取和测量系统：主腔体分子泵抽速≥690L/s；前级涡旋干泵的抽速≥4L/s，极限真空≥0.04mBar，峰值抽速≥11.4m3/h；配有测量范围从大气压至≤10-7Pa全量程真空计，量程≥1Torr的薄膜真空计，带有旁抽装置，可以在不停分子泵的条件下进行粗抽操作，实现快速换样和真空获取。
★1.3激光加热和测温系统：红外激光和测温光路集成模块，具有易操作光路调试系统，红外激光加热，最高加热温度：1000℃，光斑大小方向可调；PID控温，样品升温速率0～50℃可调，控制精度≤0.5℃；加热区域5到15mm可调，配有240～1400℃红外测温仪。
▲1.4 样品台：预留法兰接口，适配自配样品台；样品台移动范围：X：±12.5mm，Y：±12.5mm，Z：±50mm，360度自转，靶基距可从37.5～67.5mm范围可调。
1.5 四轴靶台：5靶位扫描靶台，XY: ±12.5mm, Z:100mm,公转：360o,转速可调。靶之间有两级防交叉污染挡板。靶台可磁力杆一次性取出。
1.6 激光光路：
1.6.1铝型材光路支架及亚克力玻璃保护罩，激光水平入射靶材，方便多台PLD腔体的光路复用。
1.6.2 配有1块高损伤阈值248nm光学透镜，焦距f=500mm，1块2英寸激光反射镜和配套反射镜支架、透镜支架及透镜滑轨。
1.6.3. 配有铝型材准分子激光器支撑架。
1.7 控制和辅助系统：工艺气压控制；样品台加热软件控制模块；靶台扫描和公转控制模块，具有待机状态自动停止扫描功能；样品和靶材位置软件控制，配有位置保存和载入模块，高效传样和传送靶台，提高生长效率和重复性；脉冲激光脉冲控制，提供计数模式和连续模式；生长编程模式，一键多层模和超晶格生长自动控制。
注：“★”、“▲”参数要求提供相应的证明材料，证明材料不限于产品样本或技术手册、检测报告、功能截图、生产厂家出具的技术证明文件等。响应文件中提供的证明材料需加盖供应商公章。
“★”参数为实质性条款，若有任何一条负偏离，则为无效响应。

质保及售后服务：（1）服务时间响应: 免费保质期1年，从验收合格之日起计算。免费保质期内，供应商需对由于设备的缺陷而发生的任何不足或者故障负责，并承担所涉及的费用。供应商应派专人负责与采购人联系售后服务事宜，在接到采购人通知的8小时内排除故障，若在三个工作日内不能修复的，需采取相应措施，比如更换设备、更换部件等，以保证采购人的正常工作。
（2）免费保质期后服务: 免费保质期过后，供应商需提供终身免工时费保养维修服务。供应商应每年定期或不定期上门查看设备运行状况，不定时电话跟进设备运行状况。若在接到采购人通知对设备进行维修保养时，供应商需专程派遣技术人员到现场进行服务，视实际情况收取维修费用（除工时费）。

附件：